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氦泄漏測(cè)試的方法

(1) 噴霧法

將被檢體內(nèi)部抽空后，用噴槍噴射氦氣，檢測(cè)進(jìn)入到被檢體內(nèi)部的氦氣。

適用于尋找較小的泄漏點(diǎn)，適用于尋找較小的泄漏點(diǎn)。如果需要量化測(cè)試對(duì)象的總泄漏量，罩法更合適。

(2) 真空罩法

在抽空被測(cè)物內(nèi)部、罩住被測(cè)物外部并在罩內(nèi)填充氦氣后，檢測(cè)進(jìn)入被測(cè)物的氦氣。

可以量化可疏散的測(cè)試對(duì)象的總泄漏量，但無(wú)法找到泄漏點(diǎn)。如果需要尋找泄漏點(diǎn)，則噴霧法是合適的。

(3) 嗅探法

對(duì)被檢體加壓后，用連接在LD上的吸槍探查從泄漏點(diǎn)流出的氦氣。

在以下情況下尋找泄漏點(diǎn)的有效方法。

在比大氣壓高的壓力下進(jìn)行測(cè)試的情況。

由于測(cè)試對(duì)象的復(fù)雜形狀無(wú)法遮蓋的情況。

通過(guò)壓力累積法檢測(cè)到大泄漏后發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)的情況。

(4) 蓄壓法

用氦氣對(duì)被測(cè)物加壓并用罩蓋住被測(cè)物后，用連接到LD的嗅探探頭嗅探，捕捉和檢測(cè)從泄漏點(diǎn)流出的氦。

由于泄漏的氦氣積累了一定時(shí)間，增加了氦濃度，比嗅探法更容易檢測(cè)到小泄漏。此外，還適用于比大氣壓更高的壓力下的高精度泄漏測(cè)試。

(5) 吸盤(pán)法

部分疏散測(cè)試對(duì)象。

適用于大型真空容器或其他因制造工藝或產(chǎn)品條件等原因無(wú)法進(jìn)行全身抽真空或加壓的壓力容器。

應(yīng)用示例
檢查大型真空容器的制造過(guò)程。
查找區(qū)域泄漏。

(6) 鐘罩法

用氦氣對(duì)被檢體內(nèi)部加壓（大氣壓以上），將被檢體放入試驗(yàn)室并抽空后進(jìn)行泄漏檢測(cè)。

檢測(cè)靈敏度與真空法一樣高，適用于與吸槍法或蓄壓法（壓力法）相比，需要更高的檢測(cè)靈敏度的場(chǎng)合。但不可能找到泄漏點(diǎn)，需要另一種方法找到泄漏點(diǎn)。

(7) 轟炸方法

將試驗(yàn)對(duì)象放入爆炸罐中，用氦氣加壓并保持一定時(shí)間后，將其撿起，放入試驗(yàn)室并撤離。用氦氣加壓時(shí)，如果測(cè)試對(duì)象有泄漏，一些氦氣會(huì)進(jìn)入測(cè)試對(duì)象，它們會(huì)進(jìn)入室內(nèi)。來(lái)檢測(cè)它。

用于判斷內(nèi)部為真空或充滿空氣或某種氣體的密閉容器（封裝IC、石英振蕩器等）的密封性或氣密性的方法。

(8) 任意壓力法

ULVAC針對(duì)低壓電阻產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的應(yīng)用，已在各個(gè)領(lǐng)域得到驗(yàn)證。可以進(jìn)行高精度和高速測(cè)試。

由一個(gè)泵送系統(tǒng)組成，類(lèi)似于在吸槍法中使用的帶有輔助泵的泵送系統(tǒng)?？梢栽诒?nbsp;LD 連接壓力更高的壓力下進(jìn)行測(cè)試。試驗(yàn)壓力任意可調(diào)。

封閉物件申請(qǐng)：藥品包裝、醫(yī)用包裝等。

散開(kāi)法應(yīng)用：低壓電阻容器等。